小径孔加工
小径孔加工 技術特長
- 高歩留まり
- 0.06㎜〜極小径孔加工
- ダメージレス加工
小径孔加工 技術例
加工例
- 孔径Φ0.06× 深さ 0.6 ㎜(Si)
- 孔径Φ0.4× 深さ 30㎜(Si)
- 孔径Φ1.0× 深さ50㎜(Alumina)
- 孔径Φ0.5× 深さ13㎜(SiC)
小径孔加工
![Φ0.4貫通孔(シリコン(Si))](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/small_3.jpg)
![ピラミッド頂点:Φ0.4貫通孔(Soda Glass)](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/small_1.jpg)
小径孔加工 応用例
ドライエッチング用 Si・SiC 部品
- 6,8,12 インチ用消耗部品
- OEM 認定工場
製品概要
材料 | 単結晶Si外径Φ280~Φ480×厚みt10㎜~ |
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孔明け加工 | 500~3000ヵ所 孔径Φ0.3~Φ0.5貫通孔加工 |
![酸化膜ドライエッチング工程で使用される消耗部品](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/03/small_2.jpg)
小径孔加工 貢献分野
![PC / スマホなど](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/small_bunya_1.jpg)
![自動運転](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/small_bunya_2.jpg)
![IOT](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/small_bunya_3.jpg)
![データセンター](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/small_bunya_4.jpg)
深孔加工
深孔加工 技術特長
- 高精度 > 例︓孔径Φ15× 長さ 2000㎜の加工で孔直線度0.1㎜以下
- 高アスペクト比 > 長さ L / 孔径 D=450
- ダメージレス加工
深孔加工 技術例
深孔加工技術概要 >>> 孔内面の鏡面研磨も可能です
材料 | 合成石英外径 Φ40~Φ200×長さ300㎜~1500㎜ |
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1~100 箇所 - 孔明け加工 孔径Φ1.5~Φ42 貫通孔加工 / 孔径Φ1.5~Φ20 孔内面鏡面研磨加工 |
深孔加工
![](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/03/deep_1.jpg)
![](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/03/deep_2.jpg)
![2箇所-φ5.0mm×L800mm 4箇所-φ3.0mm×L800mm(Quartz)](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/deep_3.jpg)
![2箇所-φ3.0mm×400L 孔壁距離0.25mm(Quartz)](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/deep_4.jpg)
加工イメージ
![加工イメージ](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/03/58a92e184e4796eff253fd257d245565.png)
深孔加工 貢献分野
![光ファイバー](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/deep_bunya_1.jpg)
![半導体](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/deep_bunya_2.jpg)
世界各国でこの技術を活用しています。
- 日本
- アメリカ・カナダ
- ドイツ
- 中国
- デンマーク
- フランス
大型光学部品加工
大型光学部品加工 技術特長
- 超高付加価値品︓高歩留まり
- 軽量化加工︓ダメージレス加工
- 加工範囲︓最大直径Φ1800mm , 重量 3t
大型光学部品加工 技術例
大型光学部品加工
大型光学部品加工 貢献分野
![航空宇宙関連](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/big_bunya_1.jpg)
![](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/big_bunya_2.jpg)
![大型望遠鏡(光学部品)](https://www.shibagiken.com/wp-content/uploads/2024/04/big_bunya_3.jpg)
(光学部品)
その他の素材加工 SiC , Al₂O₃等の加工ができます。
SiC加工 技術例
特長 >>> CVD-SiC , Si-SiC 等
- 小径加工孔径︓Φ0.3 ~Φ0.6(精度 ±0.01 ㎜)
- 小径加工深さ︓~ 13 ㎜
- 再生部品の加工技術開発
- 半導体製造装置の大型部品加工